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无铅铁电压电材料
发布时间:2015-08-25     阅读次数:
发布时间:2015-8-25 阅读次数:255

铅系压电、铁电材料由于其具有优异的介电、铁电及压电性能,在传感器、执行器和变压器等领域已取得了广泛应用,然而,铅系材料在制备与生产过程中对环境产生污染,对人体产生伤害,造成铅中毒,因此,研究和开发无铅压电铁电材料具有十分重要的科学意义和环境效应。无铅铁电压电材料要求材料体系本身不含有可能对生态环境造成损害的物质, 在制备、使用及废弃后处理过程中不产生可能对环境有害的物质, 且材料的制备工艺具有耗能少等环境协调性特征。

该研究方向及内容主要有:(1)无铅压电陶瓷及应用,特别是研究无铅陶瓷材料组成、结构及工艺对材料性能的影响,以及新型无铅压电陶瓷材料及器件的设计,研究性能特异无铅压电陶瓷材料、复合无铅压电材料、低温烧结无铅压电陶瓷材料的制备及其应用。(2)无铅铁电薄膜及其应用,特别是无铅铁电薄膜的制备、生长行为、薄膜与衬底之间的界面效应,薄膜中电畴结构,压电、铁电相界运动,薄膜的性能、机理以及铁电薄膜器件的研究。(3)无铅铁电压电微小型器件开发应用,特别是微机械理论、微机械材料与微结构、微细加工技术、微传感器与集成铁电器件等方面的研究工作。重点研究微机械材料及微结构与微细加工技术:主要内容包括研究和开发既有足够的机械强度、又有优良的电学性能的微机械材料便于实现机电器件的集成化;研究微结构状态下的表面效应、动态晶格缺陷、刻蚀方式以及沉积层、掺杂等对加工方式和加工过程影响;研究光刻技术、光刻掩模制作工艺、曝光技术、刻蚀技术、封装技术等工艺技术对集成铁电器件结构与性能的影响,开发出适合制作铁电集成器件的新工艺。

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